首頁
點擊加入供采通，創建供應商名片
氮化硅LPCVD流片（XF-WSBX-******）采購公告
發布時間：2025-05-23 15:59:25
項目信息
項目名稱：氮化硅LPCVD流片
項目編號：XF-WSBX-******
公告開始日期：2025-05-23 15:58:58
公告截止日期：2025-05-30 17:00:00
******大學
付款方式：貨到付款，甲方在到貨驗收后15日內向乙方一次性支付本項目的總額
聯系人：中標后在我參與的項目中查看
聯系電話：中標后在我參與的項目中查看
簽約時間要求：成交后3個工作日內
到貨時間要求：
預算：￥360000.00
收貨地址：
供應商資質要求：符合《政府采購法》第二十二條規定的供應商基本條件
公告說明：
采購清單
采購商品：氮化硅LPCVD流片
采購數量：6
計量單位：張
所屬分類：電子、通信與自動控制技術研究服務
預算：￥60000.00
技術參數及配置要求：1.\tLPCVD Si3N4厚度400 nm，退火后最小CD：200 nm，最小gap：250 nm。CD線寬控制：200±20 nm；Si3N4側壁角度：＞86°。
2.\t在400 nm Si3N4上進行刻蝕，刻蝕深度200 nm，套刻精度：70 nm。Slab 厚度：200±15 nm，Si3N4厚度：400±20 nm
3.\tSi3N4上進行SiO2填充，≥250 nm的gap需要保證SiO2填充完整。
4.\tTiN方塊電阻中心和邊緣的均值：13.5ohm/sq。最小CD：2μm 。
5.\tSi3N4單模波導（1μm寬度）傳輸損耗：≈0.2dB/cm(@1550nm) ≈0.2dB/cm(@1310nm)。
6.\t端面耦合（c波段，MFD_2p5μm）：TE：loss＜2dB/facet，TM：loss＜2.1dB/facet。
7.\t1*2MMI（c波段）：損耗≈0.2dB ，不平衡度＜0.1dB。
8.\tcrossing（c波段）：損耗≈0.2dB。
售后服務：電話支持: 5x8小時;服務時限:報修后48小時;商品承諾:原廠全新未拆封正品;
