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公示簡(jiǎn)要情況說(shuō)明：
******學(xué)院）
二、進(jìn)口產(chǎn)品公示編號(hào)：/
三、采購(gòu)項(xiàng)目名稱：聚焦離子束雙束顯微鏡
四、采購(gòu)組織類型：分散采購(gòu)-分散委托中介
五、采購(gòu)項(xiàng)目概況：
標(biāo)的名稱：聚焦離子束雙束顯微鏡
預(yù)算金額(元)：******
數(shù)量：1
單位：套
貨物或服務(wù)的說(shuō)明:擬采購(gòu)的聚焦離子束雙束顯微鏡是集成電路芯片制造工藝中加工與表征的關(guān)鍵設(shè)備，屬于高精密設(shè)備。主要應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域中半導(dǎo)體樣品，如芯片、MEMS器件、光電器件、封裝樣品，襯底材料等，可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品從mm尺度到nm尺度的全尺度快速高精度加工，高通量TEM樣品制備、電子封裝領(lǐng)域快速加工暴露深埋結(jié)構(gòu)、高通量批量制備微納米圖形、封裝器件的快速開封和高分辨缺陷觀察和樣品制備等。
六、符合上述采購(gòu)要求的進(jìn)口產(chǎn)品產(chǎn)地、品牌（一家及以上）：
序號(hào) | 品牌/廠家 | 產(chǎn)地 |
1 | / | / |
七、申請(qǐng)理由：
該系統(tǒng)集成了掃描電子顯微鏡的高分辨率成像、聚焦離子束微納加工以及飛秒激光加工更大尺寸樣品的能力，可以在微納米尺度對(duì)樣品進(jìn)行包括切割、打孔、減薄等加工操作并進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，特別適用于透射電子顯微鏡樣品的制備，可以得到厚度均勻、邊緣清晰的超薄切片。同時(shí)，聚焦離子束電子顯微鏡可以與氣體沉積裝置、納米操縱儀、各類探測(cè)器和可控樣品臺(tái)等設(shè)備相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)高度集成化的納米級(jí)成像、加工修飾和分析表征。
目前市場(chǎng)上可滿足性能指標(biāo)要求的廠家只有進(jìn)口品牌廠家，主要有德國(guó)Zeiss公司、捷克TESCAN公司、美國(guó)ThermoFisher公司。
國(guó)內(nèi)廠家涉足相關(guān)設(shè)備研發(fā)的只有一家單位，但其產(chǎn)品僅具備電子束聚焦離子束雙束電鏡的基礎(chǔ)功能，無(wú)法搭載飛秒激光系統(tǒng)，且設(shè)備的實(shí)際加工能力及擴(kuò)展性弱，無(wú)法滿足加工較大尺寸樣品等集成電路領(lǐng)域的科學(xué)研究需要。目前國(guó)內(nèi)設(shè)備與所調(diào)研進(jìn)口設(shè)備之間在加工能力及儀器擴(kuò)展功能上存在較大差距，嚴(yán)重制約了可進(jìn)行科學(xué)研究的方向范圍，無(wú)法滿足科研及教學(xué)要求。
八、論證專業(yè)人員信息及意見：
專業(yè)人員姓名 | 專家人員職稱 | 專業(yè)人員工作單位 |
鄭遺凡 | 教授 | ******大學(xué) |
周桃飛 | 研究員 | ******大學(xué) |
李吉學(xué) | 教授 | ******大學(xué) |
陽(yáng)燦 | 教授 | ******大學(xué) |
張?zhí)旆?/span> | 律師 | ******事務(wù)所 |
專業(yè)人員對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品技術(shù)性能先進(jìn)性、采購(gòu)必要性的論證意見：
專家組根據(jù)杭州市北航國(guó)際創(chuàng)新研究院的科研需求，對(duì)擬采購(gòu)設(shè)備聚焦離子束雙束顯微鏡的配置及主要技術(shù)參數(shù)進(jìn)行詳細(xì)審核，協(xié)商后一致認(rèn)為：擬采購(gòu)的儀器配置和性能要求高，國(guó)內(nèi)同類儀器無(wú)法滿足研究院的科研需求，具體體現(xiàn)在：1.離子束流強(qiáng)度國(guó)產(chǎn)設(shè)備僅能達(dá)到65nA,無(wú)法達(dá)到研究院100nA以上束流的要求； 2.研究院需要配備飛秒激光加工系統(tǒng)，用于大尺寸樣品加工，國(guó)產(chǎn)設(shè)備尚不具備，無(wú)法滿足大尺寸樣品的加工需求。
根據(jù)杭州市北航國(guó)際創(chuàng)新研究院-平合部的需求情況，擬采購(gòu)的聚焦離子束雙束顯微鏡中的根據(jù)需求方列出的配置和性能指標(biāo)要求，國(guó)產(chǎn)設(shè)備不能完全滿足科研要求，建議申請(qǐng)采購(gòu)進(jìn)口的聚焦離子束雙束顯微鏡。詳細(xì)意見見附件。
九、其它事項(xiàng)：
1、其他事項(xiàng)本項(xiàng)目公告期限為5個(gè)工作日，供應(yīng)商對(duì)該項(xiàng)目擬采購(gòu)進(jìn)口產(chǎn)品及其理由和相關(guān)需求有異議的，可以在公示期限內(nèi)（截止時(shí)間為本公示發(fā)布之日后的第6個(gè)工作日），以書面形式向采購(gòu)人及監(jiān)管部門提出異議。
2、其他事項(xiàng)：無(wú)
十、聯(lián)系方式：
1.采購(gòu)人信息
名******學(xué)院）
聯(lián)系人：王老師
聯(lián)系電話：******
傳真：/
地址：浙江省杭州市余杭區(qū)瓶窯鎮(zhèn)雙紅橋街166號(hào)
2.監(jiān)督機(jī)構(gòu)名稱：北航國(guó)際創(chuàng)新研究院自行采購(gòu)采購(gòu)監(jiān)管
聯(lián)系人：劉老師
聯(lián)系電話：0571-******
傳真：/
地址：/
附件信息:
