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HF氣相刻蝕設備采購項目
國際招標公告
日期：2025年5月13日
招標編號：0618-254TC259Q05M（GGPT******）
項目名稱：HF氣相刻蝕設備采購項目
******有限公司受粵港澳大灣區（廣東）量子科學中心委托對下列產品及服務進行國際公開招標，于2025年5月13日發布招標公告。本次招標采用公開招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
- 招標條件
- 項目概況：購置HF氣相刻蝕設備采購1套。
- 資金到位或資金來源落實情況：資金已落實
- 項目已具備招標條件的說明：已具備招標條件
- 招標內容
2.1項目實施地點：廣東省深圳市
2.2招標產品列表：
| 序號 |
產品名稱 |
主要技術參數 |
數量 |
交貨時間 |
| 1 |
HF氣相刻蝕設備采購 |
*5.4.1催化劑：水作催化劑，沒有添加任何其他催化劑。 *5.4.2釋放良率：無黏附的干法釋放，Mems結構100%完全釋放。 *5.4.3刻蝕速率：懸臂結構大于0.3 um/min； 空白暴露氧化硅大于0.1um/min。 *5.4.4片內均勻性≤5% 1?。 *5.4.5片間均勻性≤5%1?。 *5.4.6選擇比：對PECVD氮化硅30:1。 |
1套 |
合同生效后43周內 |
2.3簡要技術規格：具體詳見第八章“貨物需求一覽表及技術規格”。
- 投標人資格要求
3.2是否接受聯合體投標：詳見投標資料表。
3.3******有限公司深圳分公司登記并領購招標文件的潛在投標人不得參加投標。
3.4未在本項目投標截止時間前，在中國國際招標網（******）成功注冊的投標人，不得參加投標。
- 招標文件的領購
4.1招標文件領購開始時間：2025年5月13日（節假日除外）上午9時00分至11時30分，下午13時30分至17時00分（北京時間）
4.2招標文件領購結束時間：2025年5月20日17時00分（北京時間）
4.3招標文件領購地點：本項目采用線上發售招標文件方式，中招聯合招標采購平臺（******）
4.4招標文件售價：本招標文件每包售價為800元人民幣或110美元，售后不退。
- 投標文件的遞交
5.1投標截止時間（開標時間）：2025年6月4日14時30分（北京時間）
5.2******有限公司深圳分公司（深圳市南山區科苑路16號東方科技大廈201）
5.3******有限公司深圳分公司（深圳市南山區科苑路16號東方科技大廈201）
- 發布公告的媒體
6.1本公告同時在《中國國際招標網》、《中國招標投標公共服務平臺》上發布。投標人在投標前應在必聯網（******）或機電產品招標投標電子交易平臺（******）完成注冊及信息核驗。評標結果將在必聯網和中國國際招標網公示。
- 聯系方式
地址：廣東省深圳市福田區檳榔道3號深港國際科技園
聯系人：馮老師
聯系方式：******
******有限公司
地址：深圳市南山區科苑路16號東方科技大廈201
郵編：518057
聯系人：李小玲、鮑永杰
電話：0755-******轉8002、******
電子郵箱：******
- 其他補充說明
8.1賬號信息
人民幣賬戶：
******有限公司深圳分公司
Accountname：ChinaCNTCInternationalTenderingCo.,Ltd.ShenzhenBranch
******有限公司深圳高新園北區支行
Bank（RMB）：IndustrialandCommercialBankofChinaLimitedShenzhenGaoxinParkNorthBranch
人民幣帳號：************451
Account（RMB）：************451
外幣賬戶：
******有限公司
Accountname：ChinaCNTCInternationalTenderingCorporation
外幣(美元)******銀行總行營業部
Bank（USD）：BankofChina,HeadOffice,BankingDepartment
外幣(美元)帳號：A/C:******4863SWIFTCODE：BKCHCNBJ
Account（USD）：******4863SWIFTCODE：BKCHCNBJ
外幣(歐元)帳號：A/C:******49733SWIFTCODE：BKCHCNBJ
Account（EURO）：******9733SWIFTCODE：BKCHCNBJ
8.2獲取招標文件的方式
8.2.1招標文件獲取方式：本項目采用線上發售招標文件方式，有意購買標書的潛在投標人，請務必于招標文件獲取截止時間前按以下步驟操作完成招標文件購買：
（1）首次注冊供應商：登錄“中招聯合招標采購平臺（******）”（以下簡稱“平臺”），點擊“供應商入口”進行免費注冊；
（2）已在平臺注冊過的潛在投標人，登錄后點擊“尋找商機”，進行項目名稱查詢，找到項目點擊“我要參與”，投標人選中需要投標的包“加入購物車”；
（3）在“我參與的項目”選擇相應項目后的“購買招標文件”按鈕，選擇相應標包“去結算”并下單，招標文件售價800元人民幣（本項目僅支持【網上支付】方式。******有限公司出具增值稅電子普通發票。標書款、平臺交易服務費一經收取不予退還）。
8.2.3如有操作疑問請按以下方式與中招聯合平臺技術支持聯系：客服電話：******、******（客服工作時間：周一至周五上午09時00分-11時30分，下午13時30分-17時00分）
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