PECVD&離子注入機尾氣處理裝置(二次招標)

?PECVD&離子注入機尾氣處理裝置(二次招標)招標公告

?

1.招標條件?

本招標項目PECVD&離子注入機尾氣處理裝置(二次招標),招標人為******有限公司，招標項目資金已落實，該項目已具備招標條件，現對PECVD&離子注入機尾氣處理裝置(二次招標)進行公開招標。

2.項目概況與招標范圍?

項目概況與招標范圍：PECVD&離子注入機尾氣處理裝置 CVD尾氣處理裝置：10臺，IMP尾氣處理裝置：1臺?

招標編號：0730-******0003-55

包名稱：PECVD&離子注入機尾氣處理裝置(二次招標)

數量：CVD尾氣處理裝置：10臺，IMP尾氣處理裝置：1臺

簡要技術要求：（1）PECVD廢氣處理設備主要使用在平板顯示工業中的PECVD領域，燃燒式廢氣處理設備用于處理SiH4, N2O, NH3, NF3, H2等氣體； （2）廢氣處理設備之間的相互備用管路必須具備手動切換閥和自動切換閥； （3）進氣口個數：≥8個。?

3.投標人資格要求?

3.1 投標人資格要求：（1）制造商應具有制造同類設備的經驗，有銷售業績。制造商在中國有代理或維修機構能對產品提供長期維修服務保障。投標方推薦的設備應成熟可靠，2020年01月至今必須有同類型設備10臺以上銷售記錄，用戶反映效果良好（投標人需要提供業績資料） 。同類型要求：處理容量：ARRAY CVD：≥5000 SLM,TFE&TPOT CVD≥3000 SLM,IMP：≥1500 SLM。（2）一旦中標，投標人必須是與招標人簽訂本項目合同的簽約方。如投標人不具備與招標人簽訂合同的能力，其投標將被否決。（說明：招標中必須誰投標、誰中標、誰簽合同，不能甲投標，乙簽合同。）

3.2 本次招標：不接受聯合體投標。

3.3 未領購招標文件是否可以參加投標：不可以。

4. 招標文件的獲取?

4.1 獲取時間：2025-06-11 00:00至2025-06-18 23:59

4.2 獲取方式：中航招標網（******）

4.3 招標文件價格：3500.00元或600.00（美元） ，售后不退。

5. 投標文件的遞交及開標

5.1 投標文件遞交截止時間（開標時間）：2025-07-02 09:30

5.2 遞交方式：電子文件遞交到電子招標投標交易平臺

5.3 開標方式：通過電子招標投標交易平臺開標

5.4 逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。逾期送達的投標文件，電子招標投標交易平臺將予以拒收。

6. 聯系方式

招標人：******有限公司

地址：廈門火炬高新區(翔安)產業區翔安西路6999號

聯系人：潘秋明

聯系方式：0592-******-******

電子郵件：******

招標代理機構：******有限公司

地址：北京市朝陽區慧忠路5號遠大中心B座14層

聯系人：張慕宣

聯系方式：******529

電子郵件：******

日期?2025-06-11?